上海法颖真空机械有限公司

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YM-RL-1201A爱发科罗茨泵机组
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品牌: 爱发科(ulvac)
型号: YM-RL-1201A
抽速 (50 Hz): 1012 L/min
抽速 (60 Hz): 1051 L/min
极限压力 Pa: 0.67
电机额定功率: 3.7 kw
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YM-RL-1201A爱发科罗茨泵机组


组成

YM-RL系列罗茨泵机组是多级罗茨式干泵、罗茨泵、安装支架、接管、控制箱、消音器等组合而成,用于生产、研究设备的真空排气机组。


用途

冷冻干燥、镀膜、真空钎焊炉、真空烧结炉、单晶炉、多晶炉、等离子刻蚀、气体回收系统等。


优点

•   无油、干燥、清洁。

•   在低温领域的均热化。

•   大抽速,可以缩短排气时间。

•   优良的耐腐蚀性。

•   低噪音、低震动。


技术参数


YM-RL-1201A爱发科罗茨泵机组 技术参数


* 1   用皮拉尼真空计测定的值。
* 2   不作为推荐系列。
* 3   冷却水不得有结露。
* 4   用调节阀所调整的压力表的值。
* 5   氮气(密封气体)流量5L/min是固定值。


抽气速率

YM-RL-1201A爱发科罗茨泵机组 抽速曲线图


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