上海法颖真空机械有限公司

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NRL180A爱发科干式真空泵
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品牌: 爱发科(ulvac)
型号: NRL180A
抽速 (50 Hz): 200 L/min
抽速 (60 Hz): 240 L/min
极限压力 Pa: 5
电机额定功率: 7.5 kw
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NRL180A爱发科干式真空泵


特长

NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外,尤其适用于希望提高流量,缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。

低噪音、低振动

优良的耐腐蚀性

标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理,降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。

选购件

可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。


用途

•   活性气体(CVD、刻蚀等)。

•   排出非活性气体(溅射镀膜、   蒸气镀膜、热处理、液晶注入等)。

•   用于产生粉尘工艺中的排气(Si单晶炉等)

•   作为前级泵使用(涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵)。

•   冷冻干燥等水蒸气排气。


技术参数

NRL180A爱发科干式真空泵 技术参数


* 1   极限压力是氮气(密封气体)在5.0 SLM时的值。
* 2   无结露。
* 3   用调节阀所调整的压力表的值。
* 4   氮气(密封气体)流量5.0 SLM是固定值。



外形尺寸图

NRL180A爱发科干式真空泵 尺寸图


抽速曲线图

NRL180A爱发科干式真空泵 抽速曲线图


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