NB600B爱发科ULVAC罗茨真空泵

特长

洁净的真空

腔体内没有润滑油，对水蒸气、溶剂等气体也有稳定的排气性能。

能在高吸入压强下运作

选用比标准电机容量大一级的电机，即可实现在高吸入压强下的运作。

技术参数

* 1   用皮拉尼真空计测量的值，如用麦氏真空计测量，则为4.0×10-2Pa，而NB1200B则为6.7×10-2Pa。
* 2   随粗抽泵的性能而变化，表中数据是与标准粗抽泵组合使用时的数据。
* 3   对于530Pa以下可用空冷，但530Pa以上进行连续运转必须用水冷。
* 4   冷却水入口温度必须为5～30℃。如冷却水温过低，则泵不应在易结露的环境中使用。

外形尺寸图

抽气速率曲线

用途

•   照明、电子、光学、半导体。

•   镀膜、溅射、离子镀、液晶注入。

•   真空干燥、冷冻干燥、真空脱气。

•   真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉。

•   分析仪器、检漏设备、CO2激光设备。