高真空泵可将腔室或系统抽空到高真空（10-3至10-8托）或超高真空（<10-8托）的压力范围内。机械泵和文丘里管发生器在中等至粗真空范围内运行。有许多可以产生高或超高真空的泵设计。这些类型中的每一种都使用气体传输或气体捕获原理进行操作。
涡轮分子高真空泵；来源：Busch普旭真空泵和系统
气体转移
以气体传输原理运行的真空泵通过将气体移动通过泵来产生真空。这些泵可以连续使用，而无需再生。所有气体输送泵均为正排量泵或动排量泵（动量输送）。正排量（气体排量）泵将气体从密封区域排至大气，再排至下游泵级。动能泵通过机械地（机械真空泵）或通过相邻的蒸汽流（文丘里喷射真空泵）使气体在泵送方向上加速来置换气体。
涡轮分子泵
涡轮分子泵使用带有一系列转子和流量稳定的固定定子的转盘，使气体分子产生优先运动并产生通过泵的分子流。磁盘的驱动轴可以以25,000到90,000 rpm的速度运行。它们通常被称为“分子蝙蝠”。它们也被称为轴流式涡轮机。涡轮分子泵可以在合适的系统上泵入10-10 Torr的范围，被称为高真空技术的主力。
分子阻力泵
分子曳引泵（也称为分子泵或曳引泵）与涡轮分子泵相似，不同之处在于，使用具有脊形表面的转子鼓和圆柱形定子代替定子和转子叶片来赋予气体分子以优先运动并产生分子流通过泵。通过这种机制，气体分子沿表面物理拖动，因此被称为分子“拖动”泵。这些泵只能达到低至10-6 Torr的极限压力。这些泵用于电导率有限（通过系统的压降或阻力）和频繁循环操作的应用中。选择提示：牵引泵将在比涡轮泵高几托的入口压力下开始泵送，并且不需要低背压即可完全运行。与具有相同进口尺寸的涡轮分子泵相比，它们的抽速也低得多。
