上海法颖真空机械有限公司

您的真空解决方案来了!COBRA DS 1200 A 普旭干式螺杆真空泵显高性能

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发表时间:2020-10-14 16:52作者:shfyzk来源:网络

据行业报道,半导体及平板显示行业的首展——SEMICON/FPD China 2020 在上海新国际博览中心成功举行。作为 Busch 普旭今年在全球参加的**个展会,不仅以结合全新 CI 设计的展台亮相。同时,也在现场向大家展示了全新适用于高温制程工艺的真空解决方案。


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高温制程?250℃!

是的!我们 2020 年全新推出的 COBRA DS 1200 A 干式螺杆真空泵适用于气体温度超过 250℃ 的严苛工艺。

  • 高性能:
    先进的螺杆设计、**的运行品质、集成的罗茨泵,完美适用于太阳能、平板和半导体应用,以及需要高温气体的严苛工艺,如刻蚀和化学气相沉积,**的粉末处理能力配合 tantal 涂层的螺杆使其更适用于众多严苛应用

  • 高效:
    成本低、维护工作量少、保养周期及正常运行时间长、抽氢能力强、能耗低、可变温控制

  • 结构紧凑:
    一体化设计,罐式电机、前级泵和罗茨泵直接安装在紧凑的基架上,振动值低



COBRA DS 1200 A - 技术参数

额定抽速

1200 m³/h

极限压力

≤ 0.003 hPa (mbar)

前级泵电机额定功率

4.0 / 4.4 kW

罗茨泵电机额定功率

4.0 kW

前级泵电机额定转速

3000 / 3600 min-1

罗茨泵电机额定转速

4800 min-1

噪声等级

62 dB(A)

用水量   

7.0 – 8.0 l/min

氮气消耗量

0 – 75 l/min

重量(约)

580 kg

尺寸(长 x 宽 x 高)

1073 x 426 x 740 mm

进气口 / 排气口

DN 160 ISO-K / DN 40 ISO-KF




低温制程?80℃!

同时,对于**挑战性工艺中的低温制程,我们全新的 COBRA BC 1200 A 干式螺杆真空泵可以在气体温度低于 80℃ 的工艺中游刃有余。


  • 高效:
    成本效益高、正常运行时间长、节能

  • 维护简易:
    先进的螺杆设计,采用无油和无接触技术,维护间隔长

  • 静音:
    噪音等级<62 dB(A)



COBRA BC 1200 A - 技术参数

额定抽速

1200 m³/h

极限压力

0.003 hPa (mbar)

前级泵电机额定功率

1.5 kW

罗茨泵电机额定功率

4.0 kW

前级泵电机额定转速

3000 min-1

罗茨泵电机额定转速

5400 min-1

极限压力 / 怠速模式下的功耗

1.3 / 1.9 kW

噪声等级

< 62 dB(A)

用水量   

min. 3.0 – 4.0 l/min

氮气消耗量

0 – 60 l/min

重量(约)

360 kg

尺寸(长 x 宽 x 高)

1054 x 425 x 615 mm

进气口 / 排气口

DN 160 ISO-K / DN 40 ISO-KF




COBRA DS 1200 A普旭干式螺杆真空泵


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